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科林研發推出先進邏輯元件用的介電質原子層蝕刻功能

最新的Flex™系統可提供業界首創的量產用介電質ALE製程加州弗里蒙特市2016年9月7日電/美通社/--先進的半導體設備製造商科林研發公司(LamResearchCorp.)今天宣佈，已在其Flex™介電質蝕刻系統中增加了原子層蝕刻(ALE)功能，以擴展ALE技術的產品組合。運用科林研發的先進...
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